第188章 决战14nm遇EUV难题

    重回1990：我的科技强国路 作者:佚名
    第188章 决战14nm遇EUV难题
    陈醒的指令如同一声號角，將未来科技最强的技术力量，从应对水果chiplet竞爭的明面战场，急速调往隱藏在华夏芯谷洁净室深处的、更为残酷的“追光”前线。
    14nm工艺节点的攻坚，而极紫外（euv）光刻技术，就是横亘在这条路上那座必须翻越的、近乎绝望的雪山。
    合城產业园，华夏芯谷，“追光计划”二期作战室。
    气氛比之前攻克28nm时更加压抑，空气中仿佛瀰漫著一种面对物理法则极限的无力感。
    林薇、金秉洙博士、梁志远，以及几位新加入的光学、等离子物理领域的顶尖专家，围坐在巨大的屏幕前，上面展示著euv光刻机那令人望而生畏的复杂结构图。
    “陈总，情况比我们预想的还要严峻。”
    金秉洙博士的声音带著嘶哑，他指著屏幕上euv的核心部分，
    “我们必须自己造出能稳定输出13.5纳米波长光源的系统。这需要將微小的锡滴，用高功率的二氧化碳雷射器以每秒数万次的频率精准击中，將其激发成高温等离子体，从而辐射出极紫外光。仅仅是维持稳定、纯净、足够功率的光源，就是一个世界级的难题。”
    梁志远接著补充，他的脸色同样凝重：
    “这还只是第一步。euv光几乎能被所有物质吸收，传统的透镜系统完全无效，我们必须使用由上百层鉬/硅交替镀膜构成的多层膜反射镜来引导光路。每一层膜的厚度都必须控制在原子级別，任何微小的瑕疵都会导致光能急剧损耗。目前全球能製造这种镜片的厂商，屈指可数，並且全部在阿斯莫的严密控制之下。”
    一位来自华科院东北光机所的光学专家推了推眼镜，语气沉重：
    “我们自己的光学材料基础和精密加工能力，与国外顶尖水平存在代差。製造euv级別的反射镜，不仅仅是技术问题，更是材料科学、超精密加工、检测仪器等一系列基础工业能力的综合体现。我们……几乎是从零开始。”
    林薇调出了一份初步的供应链评估报告，上面的红色標记触目惊心：
    “高功率二氧化碳雷射器、超高真空系统、精密磁悬浮双工件台、对准和量测模块……euv光刻机涉及超过十万个零部件，其中核心子系统几乎全部被西方巨头垄断。阿斯莫公司本身也只是系统集成商，其背后是整个西方世界数十年积累的高端装备製造体系。我们面临的，不是一家公司，而是一个技术联盟构筑的铜墙铁壁。”
    会议室里陷入了长久的沉默。28nm的深紫外（duv）光刻机，他们还能通过逆向工程、参数调优和自研光刻胶去奋力一搏。
    但euv，是原理上的根本性不同，是工业皇冠上最璀璨也最难以企及的明珠。
    这感觉，就像刚刚学会打造锋利铁器的部落，突然要去挑战一座全副武装的星际堡垒。
    陈醒静静地听著，脸上看不出任何表情，只有指尖在桌面上缓慢而规律的叩击声，显示著他內心的波涛汹涌。
    他深知，这不是靠热血和加班就能解决的问题。这是对国家整体科技实力和工业根基的终极考验。
    “我们有没有可能，通过非euv的路线，去逼近14nm的性能？”
    陈醒提出了一个关键问题，这是他一直在思考的后备方案。
    章宸博士通过视频接入了会议，他刚刚结束了与水果架构的对比分析。
    “理论上，通过多重图形技术，用现有的duv光刻机，可以『拼凑』出接近14nm的线宽。但是，代价极其高昂。”
    章宸调出了一组模擬数据，
    “工序步骤会增加三倍以上，导致良率大幅下降，成本飆升，而且电晶体性能、功耗都会弱於真正的euv工艺。这条路，只能作为战术过渡，无法支撑我们未来与水果、湾积电在高端晶片上的战略竞爭。”
    又是一阵沉默。前路似乎被堵死了。自主研发euv，难度如同登天；绕开euv，则意味著永远在性能上低人一等，无法真正登顶。
    突然，陈醒抬起头，目光不再是审视难题的凝重，而是破釜沉舟的决绝。
    “既然没有退路，那我们就自己闯出一条路来！”
    他的声音不高，却像重锤敲在每个人心上，
    “euv再难，也是人造出来的，不是神造的。他们用几十年，我们就用一代人的智慧和时间去追赶，甚至超越！”
    他站起身，走到屏幕前，目光锐利地扫过每一位专家：
    “同志们，我知道这很难，难到让人绝望。但请大家想一想，我们当初做『音霸一號』、做汉卡、做『青芽』手机的时候，哪一次不是从零开始，哪一次不是被人嘲笑『不可能』？我们未来科技的骨头，就是在一次又一次打破『不可能』中淬炼出来的！”
    “euv，就是我们今天必须打破的『不可能』！这不只是为了未来科技，更是为了我们国家的產业安全，为了在未来的数字时代，我们中国人能有自己的一席之地！”
    他的话语点燃了在场专家眼中近乎熄灭的火苗。
    金秉洙博士深吸一口气，重重地点了点头。梁志远握紧了拳头。华科院东北光机所的专家眼神中也重新燃起了斗志。
    “现在，我宣布『追光计划』二期，euv攻坚战，正式启动！分三路推进！”
    陈醒开始布局，思路清晰如刀。
    “第一路，正面强攻，『光源与光学』突击队。 由金博士统筹，华科院东北光机所、沪市光机所牵头，联合国內相关领域所有顶尖力量，主攻euv光源和多层膜反射镜。我不要你们立刻做出成品，我要你们在一年內，拿出可行的技术路径和原理样机，搞清楚所有底层物理机制和材料特性！”
    “第二路，迂迴包抄，『工艺与集成』智囊团。 由梁志远负责，章宸团队提供架构支持。你们的任务是，深入研究多重图形等非euv技术，探索在现有duv设备上，通过设计-工艺协同优化，最大限度地榨乾设备潜力，为14nm的过渡性產品寻找可能性。同时，开始14nm finfet电晶体架构的预研。”
    “第三路，合纵连横，『供应链与外交』破局组。 林薇，你亲自抓。一方面，在国內『挖地三尺』，寻找所有可能替代的零部件和材料供应商，哪怕性能只有30%，也要扶植。另一方面，启动与欧罗巴、霓虹二线供应商的秘密接触，利用东门子、and等合作伙伴的渠道，看能否绕过管制，获得一些非核心但关键的技术支持或零部件。”
    命令下达，一场与国家命运紧密相连的“追光”战役，在绝境中拉开了序幕。
    华夏芯谷深处，新的实验室以最快的速度搭建起来，来自全国各地的顶尖专家告別家人，隱姓埋名，匯聚於此，开始了日夜不休的技术攻关。
    然而，就在团队刚刚燃起斗志之时，周明带来了一个雪上加霜的消息。
    他快步走入陈醒的办公室，脸色前所未有的严峻：
    “陈总，刚刚收到確认情报。美国商务部工业和安全局正在酝酿一份新的出口管制实体清单，目標直指我们华夏芯谷的14nm及以下先进位程研发。不仅euv光刻机，连相关的关键零部件、材料、甚至设计软体和技术支援，都可能被全面禁运。他们这是要……从根本上扼杀我们进军高端製造的希望。”
    陈醒站在窗前，看著合城產业园的万家灯火，沉默良久。水果的竞爭是商业博弈，而眼前的封锁，则是赤裸裸的生存威胁。
    他缓缓转过身，眼神中没有任何犹豫，只有如寒冰般的冷静与坚定。
    “封锁吧，封锁个十年八年，我们什么都有了！”
    他重复了一句充满力量的歷史名言，语气斩钉截铁，
    “通知下去，euv攻坚，提升至集团最高优先级，资源无限量倾斜！同时，启动『备胎』计划的『备胎』，我们要做好完全依靠自身力量，打通全產业链的最坏打算，和……最长久的准备！”
    夜色深沉，华夏芯谷的灯光却比以往任何时候都要明亮。
    那不仅仅是为赶工而点的灯，更像是在无尽黑暗中，为追寻那缕极致微光而点燃的、永不熄灭的希望之火。
    euv这座雪山，他们爬定了！